针对洁净棚而言，空气中悬浮粒子的检测毫无疑问是最重要的检验新项目。测量洁净棚空气中粒度遍布在0.1-5.0μm范畴内的悬浮粒子浓度值，从国际标准看来其意义有：

依照国际标准ISO 14644-2对洁净棚或清洁机器设备开展检测（Certify）或认证（Verify），或者依照国际标准ISO 14644-2对洁净棚的运转情况开展按时检测（periodic measurement）。对于测试状态则依据需求和洁净棚具体占有状况决策，可能是空态、静态数据和动态性中的任意一种。

国家行业标准GB 50073-2001与国际标准ISO 14644的以上要求是统一的。

如前所述，通常“空态”适用新创建或新更新改造的洁净棚，进行“空态”下的检测后，再在“静态数据”或“动态性”下开展合格检测，而洁净棚空气中悬浮粒子的监测一般是在动态性情况下开展。

1  检测的准备工作

测试前要认证洁净棚或洁净棚的各个领域设备全是完备的，并且运作正常的，合乎设计的工艺功能规定。预测分析试工作中一般包含：

1）   气体总流量或风力检测;

2）   气体压力差检测;

3）   装修隔断构造气密性检测;

4）   已安裝好的过滤装置测漏检测。

2  取样点的部位及总数

国家行业标准GB 50073-2001《洁净棚设计标准》和国际标准ISO14644-1《空气洁净度分级》中，有关洁净棚空气中悬浮粒子检测的取样点的要求是一致的。(由来:www.dcjjp.com)

洁净棚检验时至少取样等级按住式决策：

式中 NL---至少取样点（四舍五入取名为整数金额）；

       A---洁净棚或洁净棚的总面积，m2；

   ISO-14644-1尤其标明，针对水准单边流，总面积A可以看成是与气旋健身运动的截面。

  世界各国规范都注重取样点应联合分布于洁净棚或洁净棚的全部总面积内，并坐落于工作中棚相对高度，通常间距路面0.8m。

  表2-1列举了现行标准国际性、中国有关洁净棚检验空气中悬浮粒子的取样等级，与前些年的中国国家标准JGJ71-90《洁净棚工程施工及施工验收规范》有关不一样洁净度等级洁净棚检验时最少取样等级的较为。JGJ71-90相关取样点的详细要求，与已经在2001年被废除的美国规范FS-209E（1992年授予）是相一致的。

  由表2-1还能够清晰地见到，与过去标准要求的洁净棚空气中悬浮粒子取样总数相较为，新的方式 与洁净棚的洁净度等级等级不相干，仅在于洁净棚或洁净棚总面积的尺寸。

   而不一样洁净度等级等级的取样差别，关键体现在点射的取样气量的是多少上。

注：表格中总面积的含意是：针对单边流（层.流）洁净棚,就是指排风面总面积；针对漩涡洁净棚，就是指棚间总面积。

3  各取样点的一次取样量

  当选定较大粒度的粒子浓度值处在特定的国际标准ISO 14644-1或国家行业标准GB 50073-2001相对应的级别等级分类限制值时（见此章附则1、附录2），要确保在每一个取样点的一次取样气量中，最少能检验出20个粒子，这能够达到从应用统计学视角评定精确测量的稳定性，为此判断一次取样量是不是合乎基本上必须。除此之外，从取样气量和取样時间测量的稳定性考虑到，也给出了下限制值。因此，每一取样点的一次取样量应按住式明确：

式中 VS---每一个取样点一次至少取样量，以升表明（L）；

       Cn---有关级别要求的选定较大粒度的级别限制值（pcs/m3）；

       20---倘若粒子浓度值处在气体洁净室等级限制值，应被仪器设备测量的至少粒子数（pcs）。

举例说明测算如下所示：

由此章附则1可以查到各洁净室等级相对应粒径的微粒浓度值限值。

测算结果显示，若此0.3μm粒径为检验根据，则ISO 4级每测量点一次采样量为19.6L，若此0.1μm为准，则一次采样量为2L。

有关采样量还应留意下面三点：

1）为确保采样量及采样时间测量的稳定性，要求每一个采样点的采样量最少为2L，采样时间至少为1min。当按式（2.2）测算的VS或设备的采样时间不符合以上规定时，以以上下限值为准。

2）当洁净棚、洁净棚仅有一个采样点时，则至少在该点采样3次。

3）ISO 14644还提议，假如VS值非常大时，所需采样时间过少，则应考量选用次序采样程序流程，以降低所需采样量及采样时间。

4  空气中飘浮颗粒浓度值的采样及数据统计分析

  洁净棚空气中飘浮颗粒浓度值检验采样时，应留意下列问题：

1）   国际性GB 50073-2001要求，应应用采样量超过1L/min的电子光学粒子计数器。

2）   所采用的电子光学粒子计数器务必在仪器校正的合理应用期限内。校正的频率和方式应满足现行标准认可的标准，通常每一年校正一次。

3）   应用电子光学粒子计数器采样时，采样摄像头的通道应坐落于气旋中并房屋朝向气旋，假如气旋方位并没有可控或不能预测分析时，当在非单方面流洁净棚，则采样摄像头的通道应竖直往上。

4）   每一个采样点可按所测算明确的最少采样量采样气体。

4.1空气中飘浮颗粒浓度值的统计分析测算标准

颗粒浓度值的统计分析测算，遵循下列标准：

1）   当采样等级超过9个时，洁净棚空气中飘浮颗粒浓度值即是各采样点颗粒浓度值的算数平均值。

2）   当采样点超过1个，但小于10个时，按一二节中上述程序流程测算均值、相对标准偏差（standard deviation）和95%相信限制UCL（upper confidence limit）。

3）   假如在每一个采样点测出的微粒浓度值均值及其测算得到的95%相信限制都未超出所检验洁净棚或洁净棚的浓度值限值，则觉得该洁净棚或洁净棚做到了规范的洁净度等级等级。

4）   假如检测数值无法达到要求的洁净度等级等级，可提升联合分布的新采样点开展检测，对包含新增加采样点数据信息以内的信息再次测算的結果，便是明确的结果。

5）   假如95%相信限制的数值，未超过要求的级别是因为精确测量错漏或空气中颗粒浓度值出现异常低而产生的单独限外值，则该值可以不计入。（参考2.5.2节的练习题）

6）   在数据分析中只考虑到所造成的精神实质不够、随机偏差，不考虑到非随机偏差，如校正偏差导致的误差等。

5   洁净度等级等级的测算练习题

5.1例题1

  被测的洁净棚总面积（A）为80m2。必须明确其在信息下是不是符合要求的空气中飘浮颗粒洁净室等级。该洁净棚要求的气体洁净度为ISO 14644 5级或等同于的GB 50073-2001 5级。

1.测算空气中较大容许飘浮颗粒浓度值

基本建设方是承包单位在洁净棚工程承包合同中，要求了所基本建设洁净棚

应在动态性情况下检验0.3μm(D1)与0.5μm（D2）2个粒径的空气中飘浮颗粒浓度值，以考评其能否超过规范。

1）   依据ISO 14644-1及GB 50071-2001国际性、中国规范有关洁净度等级表明方式的要求，在洁净棚洁净度等级等级分类中设置的选定粒径应在0.1-5μm的限值范畴内。本例所选中的2个检验粒径合乎以上要求，即0.1μm≤0.3μμm，0.5μm≤5μm。

2）   依据ISO 14644-1的要求，假如所选中的检验粒径不仅一种，则邻近的很大的粒径（如D2）与较小的粒径（如D1）之比最少应是1.5，即D2≥1.5D1.本例所选中的二种检验粒径0.5μm≥1.5×0.3μm（0.45μm），也合乎ISO 14644-1有关洁净度等级等级分类的该项要求。国家行业标准GB 50073-2001，对于此事未作要求。

3）   测算较大容许飘浮颗粒浓度值。该值可以按以下方法步骤开展测算，也可立即从飘浮颗粒洁净室等级区划表查得。依照ISO 14644-1及GB 50073-2001所一致给出的漂浮颗粒洁净室等级区划标准，每一种选中粒径的最高容许颗粒浓度值Cn的计算方法，如式（2-7）所列：

式中   Cn―大于或等于所选中颗粒的较大允许浓度。Cn的有效数字从低位算起不超过3位（其他写成0），并四舍五入至最靠近的整数金额；

        N―洁净室等级，N的极值为9，二级正中间区域的级别之最少容许专业级差是0.1；

        D―以μm表明的选定粒径；

        0.1―以μm计的参量。

依照式（2-7）计算机所选中检验粒径的较大允许浓度如下所示：

对≥0.3μm(D1)的颗粒：

从此章附则1附注1中搜索，也可获得与以上测算值一样的結果。